針對(duì)光學(xué)鏡片表面輪廓的測(cè)量,常見(jiàn)的測(cè)量方式包含探針?lè)ê桶坠飧缮娣?。彩色激光位移同軸計(jì),采用白光作為測(cè)量介質(zhì),白光在特殊透鏡組下會(huì)形成色散效應(yīng)。被測(cè)物體不同深度會(huì)反射不同顏色的光,從而能測(cè)量探頭到被測(cè)物體表面距離和位移的目的。
其特別適合測(cè)量諸如鏡面等全反射面,原因是其與激光三角反射傳感器不同,光源是垂直照射被測(cè)物體,反光也是垂直返回探頭,鏡面可以最大限度的反射光斑。而三角反射式傳感器就更適合測(cè)漫反射面。
使用光譜共焦傳感器測(cè)量,可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過(guò)特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過(guò)光譜共焦傳感器的眼睛。
白光干涉法為非接觸式光學(xué)測(cè)量方法,規(guī)避了接觸式測(cè)量方法存在的問(wèn)題,同時(shí)擁有超高的測(cè)量精度。但白光共焦法需采用圖像拼合獲得完整輪廓,而拼合圖像將產(chǎn)生誤差,因此不適合較大體積或陣列分布的鏡片輪廓測(cè)量。
光譜共焦傳感器具上述兩種測(cè)量方法的優(yōu)勢(shì),還擁有超高的角度特性,高達(dá)2000Hz的測(cè)量頻率配合高精度測(cè)量平臺(tái),保證了輪廓數(shù)據(jù)的水平方向分辨率,實(shí)現(xiàn)精密測(cè)量和3D測(cè)量的需求。
曲率半徑
鏡片陣列
劃痕檢測(cè)
海伯森技術(shù)光譜共焦傳感器
傳感頭HPS-CF系列
傳感頭HPS-CFL系列
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公司主營(yíng):位移傳感器、光電傳感器、測(cè)距傳感器、激光傳感器、激光位移傳感器
包含:六維力/六軸力傳感器、高速工業(yè)相機(jī)、固態(tài)激光雷達(dá)、光譜共焦傳感器、tof激光雷達(dá)、和3D線光譜共焦傳感器。
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