通常情況下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離，而實際上，薄膜的表面是不平整，不連續(xù)的，且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類：形狀厚度，質(zhì)量厚度，物性厚度。

工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個重要的參數(shù)。隨著科技的進步和精密儀器的應(yīng)用，薄膜厚度的測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類：直接測量和間接測量。

使用光譜共焦傳感器，利用光學的方法，非接觸式地測量薄膜的厚度。在檢測過程中，白光可以直接穿透，取兩個波峰頂點的中間段的值，即為薄膜的厚度。